硅油又称聚硅氧烷，其硅氧键非常稳定，因此硅油具有良好的热稳定性和氧化稳定性。目前作为润滑油使用的硅油主要有甲基硅油、甲基苯基硅油、甲基氯苯基硅油和乙基硅油。甲基硅油一般用作阻尼液和特殊用途润滑脂基础油；乙基硅油主要用于精密仪表油；甲基苯基硅油由于耐高温、凝点低、抗氧化性好，常用于制作合成高温润滑脂基础油；氯硅油相比于其它硅油具有更好的润滑性，因此常用于制备中等负荷润滑脂的基础油。

润滑油系统中的润滑油通常是强迫循环运行方式，运行中经常进入一些空气,在激烈搅动的情况下会产生泡沫和气泡，较大的空气泡能迅速上升到油的表面，而较小的气泡上升较慢，无论以哪种形式存在于油中都会对设备带来不良影响，可能使油泵油压上不去而影响油的循环、破坏油膜、发生磨损，同时油压不稳，影响调节，严重时泡沫由油箱顶部外溢，威胁机组运行，所以油品必须具有抗泡沫性能。

为了消除工作介质在设备系统工作时产生的泡沫，经过长期的观察和研究， 找到了多种消泡的方法，如物理消泡法、机械消泡法、化学消泡法等，其中的化学消泡法中的加入抗泡剂效果最好，方法简单，因此，被国内外广泛采用。1943年壳牌发展公司和海湾研究发展公司同时发现液态有机聚硅氧烷是非常有效的抗泡剂。现在甲基硅油仍广泛用作润滑油抗泡剂。

精密仪表油是由粘温性极佳的低粘度合成润滑油，添加有抗氧化、防锈蚀等多种添加剂配制而成的耐低温仪表润滑油。此精密仪表油设计用于精密仪表、计时器的低温低扭矩、高精度微型轴承、齿轮轴心及滑轨轴心的终身润滑，具有出色的抗氧化性、抗磨性和低温性。

硅油是精密仪器仪表润滑油中常用的基础油，硅油中的硅氧键键能高达1014.2kJ/mol，使得硅油有优异的热稳定性和抗氧化性，可保证在高温条件下不易发生分解反应，以免油的品质受损，同时硅油也有优良的耐低温性能，倾点可低于-50℃。硅油的黏温性能相比于矿物油的要更加小，粘度随温度变化小，使得在温度变化不大的情况下一样保持着相同的润滑性能，保障了精密仪表仪器的准确运行。硅油稳定的化学性质还赋予了其良好的防锈性能，保护精密一起内部零件不被锈蚀，而且硅油的保质期很长，精密仪表仪器使用了硅油作润滑油可以长时间使用，减少更换次数。