硅油的化学性质比较温热，但长期使用后，也会因氧化和外来杂质的侵入而变质。由于硅油价格昂贵，应单独回收再生。
废硅油的再生通常有两种方法。电气设备中的废硅油主要采用吸附精炼的方法进行处理。废硅油可通过与硅胶、活性氧化铝、活性白土、活性炭等吸附剂接触进行精制。滤除废吸附剂后，将硅油在50-110℃下真空脱气(例如95℃下真空脱气)或在20-80℃下吹入氮气，即可得到纯化的再生硅油。
另一种方法是用溶剂蒸气处理液态废硅油，利用溶剂冷凝时的溶解作用将废硅油中的杂质溶解萃取，形成与硅油不混溶的另一种液相。这样就可以将废硅油中的多氯多环芳烃(PCB)溶解去除。处理后的硅油还含有微量溶剂，可通过真空干燥除去。通常使用的是烃类溶剂和氯代烃类溶剂。
